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中微公司迎第3000台CCP刻蚀设备反应腔付运里程碑

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证券时报(bào)e公司讯,近日,中微半导体设备(上海)股份(fèn)有限公司(sī)(以下简称“中微公司”)的电容耦合等离子(zi)体(CCP)刻蚀设备(bèi)第3000台(tái)反应腔顺利付运国内一家先进的(de)半导体芯片(p上市银行绿色金融大扫描: 信贷高速增长 产品线不断丰富iàn)制造商。

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